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声表面波传感器在复杂多变环境中的应用

长期以来，传统的温度传感器存在许多无法克服的缺陷，不能满足实际多变的测量需求。浙江大学的课题组以YZ 切铌酸锂（ LiNbO3 ） ，128°YX 切LiNbO3，ST 切石英和YX 切石英4 种不同压电敏感材料为基底，设计和制作了单端口谐振型声表面波温度传感器。研究结果表明： LiNbO3 声表面波温度传感器较石英传感器具有较大的频率温度系数; 在0 — 80 ℃ 范围内，YZ 切LiNbO3，128°YX切LiNbO3 和YX 切石英较ST 切石英的温度传感器具有线性的温度频率特性; 石英声表面波温度传感器较LiNbO3 传感器具有较大的品质因数和较强的回波信号;在相同的测试条件下，当无线传输距离小于10 cm 时，YZ切LiNbO3 温度传感器的测量精度较高; 当距离超过10 cm后，YX 切石英传感器具有较高的测量精度。该研究结果对于单端口谐振型声表面波温度传感器的设计和制作具有普遍的意义，为制备在复杂多变环境中的声表面波传感器提供了重要的指导作用。 为适应电子整机高频、宽带化的要求，声表面谐振器也必须提高工作频率和拓展带宽。增城区声表面谐振器pcx

声表面滤波器是在一块具有压电效应的材料基片上蒸发一层金属膜，然后经光刻，在两端各形成一对叉指形电极组成。当在发射换能器上加上信号电压后，就在输入叉指电极间形成一个电场使压电材料发生机械振动（即超声波）以超声波的形式向左右两边传播，向边缘一侧的能量由吸声材料所吸收。在接收端，由接收换能器将机械振动再转化为电信号，并由叉指形电极输出。

表面波滤波器是以石英、铌酸锂或钎钛酸铅等压电晶体为基片，经表面抛光后在其上蒸发一层金属膜，通过光刻工艺制成两组具有能量转换功能的交叉指型的金属电极，分别称为输入叉指换能器和输出叉指换能器。当输入叉指换能器 接上交流电压信号时，压电晶体基片的表面就产生振动，并激发出与外加信号同频率的声波，此声波主要沿着基片的表面的与叉指电极升起的方向传播，故称为声表面滤波，其中一个方向的声波被除数吸声材料吸收，别一方向的声波则传送到输出叉指换能器，被转换为电信号输出。声表面波滤波器具有工作频率高、通频带宽、选频特性好、体积小和重量轻等特点，并且可采用与集成电路相同的生产工艺，制造简单，成本低，频率特性的一致性好，因此广泛应用于 各种电子设备中。 有什么声表面谐振器行价滤波器是射频前端各领域产值占比较高的产品。

对于不同的滤波器分类，主要是从不同的滤波器特性需求来描述滤波器的不同特征。滤波器的这种众多分类方法所描述的滤波器不同的众多特征，集中体现出了实际工程应用中对滤波器的需求是需要综合考量的，也就是说对于用户需求来做设计时，需要综合考虑用户需求。滤波器选择时，首先需要确定的就是应该使用低通、高通、带通还是带阻的滤波器。常用的滤波器是低通跟带通。低通在混频器部分的镜像抑制、频率源部分的谐波抑制等有应用。带通在接收机前端信号选择、发射机功放后杂散抑制、频率源杂散抑制等方面使用。滤波器在微波射频系统中应用，作为一功能性部件，必然有其对应的电性能指标用于描述系统对该部件的性能需求。对应不同的应用场合，对滤波器某些电器性能特性有不同的要求。

声表面波谐振器的原理一种性质相当独特的机械波，当它沿着晶体表面行进时，在垂直晶体表面的方向，能量会以指数形式衰减，而当其深入超过一个波长深度时，能量密度则降为在表面时的十分之一，因此这种波在晶体表面行进时，主要的优点就是能量能够集中于表层。这种独特的性质，使得表面声波组件可以很容易地运用其所携带的能量。声表面波谐振器的特性及应用特性:低系列阻值，石英稳定性，小尺寸。应用:汽车门遥控开关，内部捕捉系统，数据链接，胎压监控系统，无线安全系统，无线条码的读取，无线键盘，无线鼠标，无线操纵杆，遥控灯开关。声表面谐振器的小型片式化，是移动通信和其他便携式产品提出的基本要求。

声表面波—SAW（SurfaceAcousticWave）就是在压电基片材料表面产生和传播、且振幅随深入基片材料的深度增加而迅速减少的弹性波。SAW滤波器的基本结构是在具有压电特性的基片材料抛光面上制作两个声电换能器——叉指换能器（IDT）。它采用半导体集成电路的平面工艺，在压电基片表面蒸镀一定厚度的铝膜，把设计好的两个IDT的掩膜图案，利用光刻方法沉积在基片表面，分别作为输入换能器和输出换能器。其工作原理是输入换能器将电信号变成声信号，沿晶体表面传播，输出换能器再将接收到的声信号变成电信号输出。声表谐振器在抑制电子设备高次谐波、镜像信息、发射漏泄信号，及各类寄生杂波干扰等方面起到了良好的作用。从化区声表面谐振器电路

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一，声表面波具有极低的传播速度和极短的波长，它们各自比相应的电磁波的传播速度的波长小十万倍。在VHF和UHF绳段内，电磁波器件的尺寸是与波长相比拟的。同理，作为电磁器件的声学模拟声表面波器件，它的尺寸也是和信号的声波波长相比拟的。因此，在同一频段上，声表面波器件的尺寸比相应电磁波器件的尺寸减小了很多，重量也随之大为减轻。例如，用一公里长的微波传愉线所能得到的延迟，只需用传输路径为1。m的声表面波延迟线即可完成。这表声表面波技术能实现电子器件的超小型化。增城区声表面谐振器pcx

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